今般当社は、液晶ディスプレイの生産性向上に寄与する回転カップ（当社特許）ユニット等を搭載した、最大８５０×１，０００mmクラスのガラス基板に対応する液晶ディスプレイ製造用スピンコーター「ＴＲ５００００シリーズ」の販売を開始しました。なお、本シリーズ機を含めた液晶ディスプレイ製造用スピンコーター「ＴＲシリーズ」の2001年3月期の売上高を８０億円と見込んでおります。
現在、液晶パネルメーカーの設備投資意欲が急回復する中で、年明けより投資が本格化する次世代の基板サイズ(６８０×８８０mmクラス)対応の「ＴＲ４５０００シリーズ」をはじめとする「ＴＲシリーズ」は、引き合いが大幅に増加し、受注も順調に伸張しております。

さらなる展開を図るために、「メーター角基板」時代への最終アプローチとして「ＴＲ５００００シリーズ」をラインナップすることで、８５０×１，０００mmクラス基板の生産ライン構築を望む液晶パネルメーカーの投資意欲にシームレスに対応することが可能となりました。これにより、ユーザー各社は、将来的にもジャストサイズの装置を選択でき、効率の良い投資設計が可能となります。

東京応化では、従来より「メーター角基板」時代へ向けて2000年中旬を目処に最大９６０×１，１００mmのガラス基板に対応する「ＴＲ５８０００シリーズ」の開発を進めており、その開発リソースを有効活用することにより「ＴＲ５００００シリーズ」の早期開発に成功いたしました。

「ＴＲシリーズ」は、回転カップユニット等、東京応化独自の様々なノウハウが駆使されており、液晶ディスプレイ製造用スピンコーターではデファクトスタンダードとなっており、1989年の出荷開始以来約３００台の納入実績を有し、国内外のユーザー各社より高い評価をいただいております。

東京応化では、フォトレジストのトップメーカーとして長年にわたって培ったノウハウを生かし、Ｍ＆Ｅ(Materials & Equipments)をコンセプトに材料・装置両面からの研究開発・技術サポートを行ってまいりました。今後も、Ｍ＆Ｅによるトータルソリューションを提供することにより、液晶ディスプレイ材料・装置のみならず半導体材料・装置につきましても積極的な事業展開を図ってまいります。

液晶ディスプレイ製造用大型ガラス基板対応スピンコーター「TR50000シリーズ」